| 基于阵列探测器的单光束三自由度零差激光干涉仪 |
| US17681148 2022-2-25 发明申请 |
| 2022-9-15 |
| 一种基于阵列探测器的单光束三自由度零差激光干涉仪。 单频激光束输入迈克尔逊干涉结构， 测量光束与参考光束进行非同轴干涉，通过设定参考平面镜的角度，形成单光束零差干涉信号， 选择阵列探测器有效接收单波束零差干涉信号，最后通过基于Lissajous椭圆拟合的三自由度解耦方法实现对单波束零差干涉信号的三自由度信号线性解耦。 激光干涉仪无角度解耦非线性， 周期非线性误差显著减小， 与现有的其他三自由度激光干涉仪相比，本实用新型具有结构简单，角度测量范围大，易于集成的优点，满足了三自由度激光干涉仪对位移和角度测量的高精度要求。 |
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