| 双激光的高精度的干涉仪 |
| EP06253058 2006-6-13 发明申请 |
| 2007-2-7 |
| 一种基于激光干涉测量绝对距离测量装置可以结合粗，中间，和最高分辨率测量技术，以找到该绝对距离，以一样品表面与高分辨率。该装置可以提供至少两个激光波长(1，2)同时，以允许降低或消除一定的共模误差分量，包括动态误差分量。该装置可扫描的至少一个所述激光波长在一个相对窄的范围和可以使用正交检测器，以提供足够的信号数据，以允许一定的自-扫描在所得到的待执行校正信号和测量。一种新型可调谐激光器和\/或正交检测器可以组合与所述装置中提供优点。 |
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