电容探针。
 
EP91917304  1991-10-2  发明申请

1992-9-16
 
  一电容探针26是一种坐标测量机或机上使用的工具,以确定所述探针之间的距离和一工件表面30。来校准它,它被移向和\/或离开所述表面,和一个电容的读数的串联取与移动距离。然后这些可被用于确定校准值,E。G。使用一“最佳配合”算法与该电容与所述移动距离有关的一个方程。不同的校准值可以被用于不同点获得的所述表面上,以考虑不同的本地在每个点的形状。
 
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