| 双激光高精度干涉仪 |
| US11193437 2005-8-1 发明申请 |
| 2007-2-1 |
| 一种基于激光干涉测量的绝对距离测量装置可以结合粗，中和最高分辨率的测量技术来找到到具有高分辨率的样品表面的绝对距离。 所述装置可同时提供至少两个激光波长，以允许减少或消除某些共模误差分量，包括动态误差分量。 所述装置可以在相对窄的范围内扫描所述激光波长中的至少一个，并且可以使用正交检测器来提供足够的信号数据，以允许对所得到的扫描信号和测量结果执行某些自校正。 一种新颖的可调谐激光器和/或正交检测器可以与该装置结合提供优点。 |
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