| 电容探头的校准 |
| US08481161 1995-6-7 发明授权 |
| 1996-12-10 |
| 电容探头由坐标测量机或机床使用，以确定探头到工件表面在表面上的不同点处的距离。 通过沿一条与表面倾斜的直线移动来校准探头。 在该移动期间，记录电容的多个值和沿着线移动的实际距离的对应值。 还确定沿偏斜线移动的基准值，该基准值对应于探针将接触表面的位置。 校准探头时不需要对探头到表面的距离进行单独的独立测量。 使用这样校准的探针扫描工件表面，其中在表面上的不同点处使用不同的校准值，以说明表面的局部形状。 |
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