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产业专利数据

电容探针

WOGB91001703 1991-10-2 发明申请

1992-4-16

一电容探针(26)是一种坐标测量机或机上使用的工具，以确定所述探针之间的距离和一工件的表面(30)。来校准它，它被移向和\/或离开所述表面。本发明公开了各种方法来确定一个基准位置对应的DS到该位置在其所述探针接触所述表面。