| 扫描速度恒定的扫描探针 |
| CN200810096381.2 2008-4-17 发明申请 |
| 2008-10-22 |
| 一种方法,用于采用设置在坐标测量机器(CMM)4的支架3上的扫描探针2以恒定的扫描速度|Va|来扫描工件1表面。该CMM包括第一组驱动装置(6,7,8),以便沿着三个线性轴(x,y,z)移动支架,并且支架3包括第二组驱动装置(14,17),以便使扫描探针2相对于所述支架3以两个自由度移动。该方法包括连接至驱动装置组(6,14,17)的控制装置33,以及用于存储待扫描表面的理论剖面和坐标的存储装置。 |