| 程序用于所述的改进的一种坐标测量机的所述reproductibility和它们的精度 |
| DE102007025304 2007-5-30 发明申请 |
| 2008-12-4 |
| 它是揭示一种过程用于所述的改进的一种坐标测量机的所述reproductibility和它们的精度。与至少一个测量场照相机的几个画面是通过至少一个结构上采取所述衬底上。所述衬底被放置在一测量表X-koordinatenrichtung和Y-坐标中可移动的方向,其位置被确定与与一wegmesssystem图像记录。该测量场被移位量的偏差。 |