| 具有LED阵列的反射式非相干照明显微镜 |
| KR1020200158984 2020-11-24 发明申请 |
| 2022-6-2 |
| 本发明涉及一种使用LED阵列的反射式不一致性照明显微镜及其操作方法， 更具体地说，在第一步骤中，点亮构成LED阵列的整个LED光源，使得2D图像获取模式继续进行，并且每个LED光束通过光学系统在分束器上反射，并通过物镜进入测量对象； 第二步骤，其中LED阵列被图像中继并成像在物镜的后焦平面上； 第三步骤，其中反射光束经由分束器和聚光透镜入射到光电检测器中，并且在光电检测器中，多个LED光束获取从测量对象反射的2D图像信息； 第四步，通过驱动台将测量物体移动到Z轴相位，光电探测器获得Z轴聚焦位置，从而获得测量物体的厚度信息； 并且该分析手段涉及使用LED阵列的反射型非晶照明显微镜的操作方法，其特征在于，包括二维图像信息和通过厚度信息获得三维图像的第五步骤。 |
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