| 探针具有恒定的光栅速度 |
| DE602007005778 2007-4-18 发明授权 |
| 2010-5-20 |
| 一种方法用于扫描一个工件的表面(1)在一恒定的扫描速度|V|使用一种扫描探针(2)安装在一支架(3)在一个坐标测量机(CMM)(4)。所述CMM包含一第一组的驱动装置(6，7，8)，以移动所述支持根据三个直线轴(X，Y，Z)，和所述支撑(3)包含一个第二组的驱动装置(14，17)用于致动所述的移动所述扫描探头(2)与两个度的自由度相对于所述支撑(3)。该方法包括控制装置(33)耦合到所述的组驱动装置(6，14，17)，和存储器装置，用于存储的理论轮廓和所述表面的坐标，以扫描。 |
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