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4
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坐标测量机与一个或多个铝导向元件。
EP89121642 1989-11-23 发明申请
1990-6-13
为了测量该测量所述的位置的托架,其上可以移动所述引导,刻度是采用它同样由铝的。在一个说明性实施例中,所述刻度具有一个反射相位等级的形式和被直接施加到所述表面的所述导向元件(8)。另外,一个温度传感器(16)被提供,其中所述导向元件或所述的测量所述的温度级分(10)。
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