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预测透射电子显微镜像差的装置及其操作方法
KR1020200159703 2020-11-25 发明申请
2022-6-2
一个实施例涉及一种预测电子显微镜像差值的方法。 一种预测电子显微镜像差值的方法,包括:使用电子显微镜获得非晶样品的多个输出图像; 将多个输出图像分别转换为傅立叶变换,以获得多个变换图像; 将多个变换图像输入到其中组合了多个不同CNN-R模型的集合模型中; 经由集合模型输出对应于多个变换图像的一组像差值; 并且基于该组像差值,它可以包括计算最终像差值的步骤。
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