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产业专利数据

三坐标测量机

US07448268 1989-12-11 发明授权

1991-7-16

一种坐标测量设备，包括由铝制成的引导件。用铝制天平测量可在导轨上移动的测量滑块的位置。在优选实施例中，刻度是反射相位光栅的形式，并且直接施加到引导构件的表面。此外，提供了一种温度传感器，其测量导向构件和刻度部的温度。还公开了一种产生标度划分的方法。