| 扫描速度恒定的扫描探针 |
| US12053164 2008-3-21 发明申请 |
| 2008-10-23 |
| 一种使用安装在坐标测量机(CMM)4上的支架3上的扫描探针2以恒定的扫描速度/Va/扫描工件1的表面的方法。 CMM包括第一组驱动装置(6)， 7，8)以根据三个线性轴线(X，Y，Z)移动支撑件，并且支撑件3包括第二组驱动装置(14，17)，用于驱动扫描探针2相对于所述支撑件3以两个自由度移动。 所述方法包括连接到所述组驱动装置(6，14，17)的控制装置33，以及用于存储待扫描表面的理论轮廓和坐标的存储装置。 |
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