| 反射式光栅尺 |
| CN202010259720.5 2020-4-3 发明申请 |
| 2021-7-16 |
| 本发明公开一种反射式光栅尺，包括有光源、镜头、主光栅尺、副光栅尺和接收单元，所述主光栅尺上设有第一光栅条纹，所述副光栅上设有与所述第一光栅条纹相对应的第二光栅条纹，所述接收单元与副光栅尺为相对平行间隔设置，所述光源设置于所述镜头上，所述第一光栅条纹包括RI码道和增量码道，RI码道依次包括第一不反光区、增量码道区、第一反射区、增量码道区、第一不反射区、增量码道区、第二反射区、第二不反光区，接收单元上对应RI码道位置设有接收区，所述接收区依次包括Z+信号区、A+信号区、B+信号区、A?信号区、B?信号区、Z?信号区。本发明优点在于：主光栅与副光栅距离拉远至菲捏尔焦面，RI信号依然强且RI触发位置精准的反射式光栅尺。 |
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