| 透射电子显微镜和调节光学系统的方法 |
| US17536288 2021-11-29 发明申请 |
| 2022-6-2 |
| 一种透射电子显微镜，包括控制单元，该控制单元：基于第一照明系统透镜的激励量确定第二照明系统透镜的激励量，使得第二照明系统透镜满足第一光学条件； 以及基于第二照明系统透镜的激发量来确定第一偏转器的控制量和第二偏转器的控制量，使得第一偏转器和第二偏转器满足第二光学条件。 第一光学条件是即使第一照明系统透镜的激励量改变，电子束的会聚角也是恒定的， 并且第二光学条件是即使第一照明系统透镜的激发量改变，电子束的照射位置和电子束的照射角度也是恒定的。 |
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