| 照明安装有一光强度的检测器，用于接纳 |
| DE102006039760 2006-8-24 发明申请 |
| 2008-3-13 |
| 本发明涉及一种照明装置，用于一微光刻投影曝光装置，其中所述的照明安装一个源光，其作为阱作为覆盖在所述的光的波长覆盖<=100nm，在所述的EUV波长中的特定覆盖，用于照明一个出射的光瞳电平(121)-元件，具有其中至少一个第一的照明(22)在所述出射光瞳电平(121)可以被改变成一个第二的照明(24)，和至少一个检测器(106，1，106，2)用于所述检测的所述的光，从而其特征在于所述的照明安装覆盖装置(164)，那些在至少一个光强度信号的所述检测器(106，1，106，2)占据和所述的取光的至少作为一种功能强度信号的一控制信号(166)，以顺序的地方，与其中一个光敏感的物体的扫描速度可以被停止一方案(221)中所述的微光刻投影曝光的植物。 |
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