| 激光干涉仪 |
| DE102010000817 2010-1-12 发明申请 |
| 2010-8-5 |
| 一激光干涉仪包括 : 一个激光源，用于发射一激光束，而稳定一中心波长的激光通过使用一调制信号调制所述激光束的光束的一预定频率; 和一个参考反射镜和一个测量反射镜，用于反射该激光束。所述激光干涉仪还包括 : 一采样单元，用于获取一采样的采样值的干扰反射的光通过该参考反射镜和所测量的反射镜与一采样频率，它是一种多的一个整数的两个或更多的所述调制信号的频率; 和一个平均计算器用于计算一个平均值由平均获取时间-串联的采样值由所述采样根据与所述采样频率中的单元。所述激光干涉仪计算基于所测量的反射镜上的所述平均位移值计算由所述平均计算器。 |
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