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空气轴承监控和调整
DE102015106831 2015-4-30 发明申请
2016-11-3
本发明涉及一种气浮轴承组件活动安装的两个部件(4,11)彼此有至少一个空气支承(12),可形成部件之间的压缩空气垫具有,所述至少一个空气轴承的压缩空气供应管线(13),通过能够提供压缩空气,所述流量计中的压缩空气供给线(15)设置,该空气轴承的压缩空气的流量来确定。本发明还涉及一种与对应的坐标测量机气浮轴承组件和操作方法。
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