| 溶剂无水除激光干涉仪 |
| DE202014101699 2014-4-10 实用新型 |
| 2014-8-28 |
| 用于绝对距离测量的装置包括第一可调谐光源，用于发出第一波长的光 第一可调频率调制的第一调制频率和第二光源，用于发出第二波长的光 的第二频率调制的第二调制频率。 光学耦合器将第一波长光的第二波长的光转换为法布里-Pé腐干涉腔。 干涉仪的探测器提供了一种基于检测到的干扰的干扰测量信号图案。 解调器单元，生成第第一解调信号基于所述干扰测量信号通过解调与第一调制 频率和第二基于解调信号的干扰测量信号通过解调与第二调制频率。 一种通过评估计算单元计算一绝对距离第一解调信号第一的扫描期间采集 可调谐频率和第二解调信号。 |
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