| 光学轴线偏振型激光干涉仪 |
| EP08002673 2008-2-13 发明申请 |
| 2008-8-20 |
| 一个光学轴的偏振型激光干涉仪包括一个基准球(34)，其形成一基准的测量，一后向反射装置(12)设置在一测量对象，一种激光干涉测量装置，用于输出一个测量值对应于一个在所述的距离增加或降低到和从所述的后向反射装置; 和两个轴转向机构(30)，用于旋转所对应的激光发射的光束干涉测量装置的定心该基准球的周围，其措施，与所使用的该基准球的中心坐标作为参考，该距离以和从所述的后向反射所发射的光束的装置，其中所述的光学轴从所述激光干涉测量装置安装在所述两个轴转向机构和一返回光束成为平行于每个其它，其中所述的固定部分第一轴转向机构安装在所述基部的所述装置是设置在所述的内圆周; 该基准球是其放置在所述固定部分(40)，和在所述相同的时间，所述的移动部分第一轴转动所述固定机构被放置在所述的外圆周部分，和第二轴转向其机构被安装在所述移动部分。因此，在机构设计的复杂性可以被简化到一个大的程度与相对于第一轴转向机构，其构成所述两个轴转向机构。 |
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