| 振荡扫描探针与恒定接触力 |
| EP07105559 2007-4-3 发明申请 |
| 2008-10-8 |
| 一种方法用于扫描一个工件的一表面使用一种扫描探针2安装在一支撑3在一个坐标测量机4。所述支撑包含驱动装置5，7，用于致动所述移动所述扫描探头2的相对到所述支撑3。该方法进一步包括检测装置9，以测量所述的尖端10之间的接触力F施加所述探针和所述表面1，控制装置13耦合到所述驱动装置，和存储器装置14用于存储所述表面的理论简档19和坐标20。这种方法，其特征在于，所述的事实所述控制装置13调整所述的致动所述驱动装置5，7沿扫描路径18中，以便保持该接触力11所定义的范围内的值15所述整个扫描操作期间沿着该扫描路径18。 |
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