| 双激光干涉仪 |
| EP13169159 2013-5-24 发明申请 |
| 2014-11-26 |
| 一种用于绝对距离测量装置包括一个第一的可调光源，用于发射一个第一波长的光一第一通过一个第一调制频率可调频率调制和第第二光源，用于发射一个第二波长的光一第二通过一个第二调制频率调制的频率。一种光学耦合器耦合的第一波长的光和所述第二波长的光为一个法布里-PéROT干涉仪腔。一种干涉仪的检测器提供了一种基于干扰测量信号在一个检测到的干扰图形。一种解调单元产生一第一基于所述干扰测量信号通过解调的解调信号与第一调制频率和第二基于所述干扰测量信号通过解调的解调信号与第二调制频率。一种通过评价计算单元计算绝对距离第一的一个扫描期间获取的解调信号第一可调谐的频率和第二的解调信号。 |
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