| 具有恒定接触力的振动扫描探针 |
| HK08113968.3 2008-12-24 发明申请 |
| 2009-5-29 |
| 一种用于扫描工件表面的方法使用扫描探针2安装在支架3上，坐标测量机器4。该支撑件包含驱动装置5，7用于致动运动的扫描探针2相对于支架3上。该方法还包括 : 检测装置9，以测量尖端10之间施加的接触力F的探头和表面1，控制装置13连接到驱动装置，和存储装置14，用于存储的理论轮廓(19)和坐标20的表面。该方法的特征在于，通过本实用新型控制装置13调节致动的驱动装置5，7沿扫描路径18以保持接触力(11所定义的范围内的值的15在整个扫描操作沿扫描路径18。 |
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