| 光-轴偏转式激光干涉仪 |
| JP2007037410 2007-2-19 发明申请 |
| 2008-9-4 |
| 要解决的问题 : 以显著地简化所述的机械设计一种单轴旋转机构的复杂化，其构成一种双轴转动的机构。溶液 : 一个光学轴偏转式激光干涉仪包括一个基准球34被一个参考测量的; 一个递归反射装置12设置在一待测物体10; 一激光干涉仪的长度测量机20用于输出测量值，根据在所述距离的增加和减少以所述递归反射装置12; 和所述的双轴旋转机构30用于旋转所述出射光束(22)所述激光干涉仪的长度测量机20关于该基准球34和测量该距离到所述递归反射装置12，具有相对于所述该基准球的中心坐标34，当所述出射光束的光学轴(22)从所述激光干涉仪长度测量机20安装到所述的双轴旋转机构30和其光返回变得平行于每个其它。所述的光学轴偏转式激光干涉仪中，一固定部31b所述的单轴的旋转机构31，安装到一装置的基部50，被设置在所述的内圆周，和该基准球34被安装到这个; 和一可动部31a所述单轴的旋转机构31被安装到所述外圆周的所述固定部31b，和所述的双轴旋转机构32被安装于此。版权 : (C)2008，inpit |
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