| 激光干涉仪 |
| JP2009004717 2009-1-13 发明申请 |
| 2010-7-29 |
| 要解决的问题 : 以提供一激光干涉仪，其能够减少在所述的制造成本，并简化在所述配置。溶液 : 所述激光干涉仪1包括一激光光源2，其中稳定所述中心波长激光的光通过与一调制信号调制所述激光的光具有一规定频率和发射所述的光，和一个参考反射镜4和一个测量反射镜5，其反映所述激光的光。另外，所述激光干涉仪1包括一个取样装置71，其样品所反射的光的干扰光通过所述参考镜4和所测量的反射镜5，该频率与所述的采样频率是一个整数倍两个或多个具有相对于所述的频率的所述调制信号，并取得一个采样值，和一个平均值计算装置721，其中所述采样值的平均值，在通过所述采样装置71获取一个时间序列; 根据所述采样频率，以计算一个平均值。基于所计算的平均值通过所述平均值计算装置721，所述测量的位移镜5是计算。版权 : (C)2010，inpit |
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