| 激光干涉仪绝对距离 |
| JP2014103601 2014-5-19 发明申请 |
| 2014-12-8 |
| 用于绝对距离测量装置包括第一可调谐光源，用于发出第一波长的光第一可调谐频率调制的第一调制频率和第二用于发射第第二波长光的光源的第二频率调制的第二调制频率。光学耦合器耦合第一波长光与第二波长的光转换为法布里-Pé腐干涉仪的腔。干涉仪检测器提供了一种基于检测到的干扰的干扰测量信号图案。解调器单元产生第一基于解调信号的干扰测量信号通过解调与第一调制频率和第二基于解调信号的干扰测量信号通过解调与第二调制频率。计算单元计算的绝对通过评估第一解调信号获取距离在扫描的第一可调谐频率和第二解调信号。 |
微信公众号