| 光轴偏振式激光干涉仪 |
| US12031335 2008-2-14 发明申请 |
| 2008-8-21 |
| 一种光轴偏振型激光干涉仪，包括形成测量基准的基准球、设置在测量对象处的后向反射装置、用于输出对应于到后向反射装置的距离的增加或减少的测量值的激光干涉测量装置； 以及两轴转动机构，用于转动以参考球为中心的相应激光干涉测量装置的发射光束， 这些措施， 使用参考球的中心坐标作为参考， 其中来自安装在双轴转动机构上的激光干涉测量装置的发射光束的光轴和返回光束彼此平行， 其中，安装在所述装置的基部的所述第一轴转动机构的所述固定部分设置在其内周，所述基准球设置在其固定部分，同时，所述第一轴转动机构的所述移动部分设置在所述固定部分的外周，并且所述第二轴转动机构安装在其移动部分上。 因此，相对于构成双轴转向机构的第一轴转向机构，可以在很大程度上简化机构设计中的复杂性。 |
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