| 激光干涉仪 |
| US12654685 2009-12-29 发明申请 |
| 2010-7-15 |
| 一种激光干涉仪，包括 : 激光源，用于发射激光束，同时通过使用预定频率的调制信号调制激光束来稳定激光束的中心波长； 以及用于反射激光束的参考反射镜和测量反射镜。 所述激光干涉仪还包括 : 采样单元，用于通过以调制信号的频率的两倍或更多的整数倍的采样频率采样由所述参考反射镜和所述测量反射镜反射的干涉光来获得采样值； 以及平均计算器，用于通过根据采样频率平均由采样单元获取的时间序列采样值来计算平均值。 所述激光干涉仪基于由所述平均计算器计算的平均值来计算所述测量镜的位移。 |
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