| 绝对距离激光干涉仪 |
| US14284756 2014-5-22 发明申请 |
| 2015-1-15 |
| 一种用于绝对距离测量的装置，包括用于发射由第一调制频率调制的第一可调谐频率的第一波长光的第一可调谐光源和用于发射由第二调制频率调制的第二频率的第二波长光的第二光源。 光耦合器将第一波长光和第二波长光耦合到干涉仪腔中。 干涉仪检测器基于检测到的干涉图案提供干涉测量信号。 解调器单元通过用第一调制频率解调干扰测量信号来产生第一解调信号，并且通过用第二调制频率解调干扰测量信号来产生第二解调信号。 计算单元通过评估在第一可调谐频率和第二解调信号的扫描期间获取的第一解调信号来计算绝对距离。 |
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