| 具有恒定接触力的振荡扫描探针 |
| US12049757 2008-3-17 发明申请 |
| 2008-10-9 |
| 一种使用安装在坐标测量机4上的支架3上的扫描探针2扫描工件表面的方法。 支架包括驱动装置5，7，用于驱动扫描探针2相对于支架3的移动。 所述方法还包括 : 检测装置9，用于测量施加在探针的尖端10和表面1之间的接触力F；控制装置13，耦合到驱动装置；以及存储装置14，用于存储表面的理论轮廓19和坐标20。 所述方法的特征在于，所述控制装置13沿着扫描路径18调节所述驱动装置5，7的致动，以便在沿着所述扫描路径18的整个扫描操作期间将所述接触力11保持在所述值15的限定范围内。 |
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