| 调节式激光干涉仪 |
| DE102010002035 2010-2-17 发明申请 |
| 2010-8-19 |
| 它成为一种调整YP激光干涉仪(1)由可用的。一个检查任务控制单元(54)将一变化机构(121)这样的一种方式中所述的事实光沿一给定的样品发出的是如果通过一个第一评估单元(521)的判断是使至少一个所述光接收量一第一和第二的光接收单元(413，422)是不大于第一门限值。以追踪然后将调整控制单元(51)改变机构(121)，后向反射器(11)远，如果第二的评价单元(522)判断在一长度的时间，在其中所述检查任务控制单元(54)将所述改变机构(121)用于所发射的光沿所述样品，两个光接收量的第一和第二光接收单元比第二的阈值值较大。该干涉仪(1)沿所述样品发出的光，为了查找用于所述后向反射器(11)，如果其失去它从所述视图。在一收集知道干涉仪(1)所述反射器(11)再次以进一步追踪和测量恢复。 |
微信公众号