| 一种极简式单扫描管扫描探针显微镜结构和显微镜 |
| CN202210080319.4 2022-1-24 发明申请 |
| 2022-5-27 |
| 本发明公开了一种极简式单扫描管扫描探针显微镜结构，包括压电扫描管和镜体框架，所述压电扫描管设置在镜体框架内，所述压电扫描管上部分为自由端且通过固定环安装于镜体框架，下部分为自由端且其内壁上通过绝缘环连接滑杆，绝缘环的内环壁安装有弹簧片，弹簧片弹性抵接滑杆；本发明还提出了一种应用上述结构的基于Qplus技术的单扫描管的原子力显微镜，探针安装在石英音叉上，石英音叉、压电陶瓷、激励振荡器依次设置。本发明结构可靠性高，仅需要一根完整的四象限压电扫描管就可以完成步进和扫描，只在马达步进方向依赖惯性，而扫描方向可以连续进行，压电管不需要经过切割，保持了原有的完整性和刚性，所以能够更稳健，更精确地步进和扫描。 |
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