| 跟踪型激光干涉仪 |
| JP2009033547 2009-2-17 发明申请 |
| 2010-9-2 |
| 要解决的问题 : 以提供一种跟踪式激光干涉仪用于恢复测量，即使如果反向反射器的视线被丢失。溶液 : 一图案发射控制单元54控制一个改变机构121，使得从一个光源的光被沿一预定的图案时，确定由一第一发出的确定单元521接收到的光量的至少一个第一和第二的光接收装置是不大于一预定的第一门限值。一个跟踪控制单元51使所述改变机构121以保持当反向反射器11的轨道通过确定一个第二确定单元522使两个所接收的光量的第一和第二的光接收单元是一个时间周期大于预定的第二期间，门限值，其中所述图案中的发射控制单元54控制所述改变机构121用于从所述光源所发射的光沿所述预定图案。该干涉仪1发出的光沿所述预定图案，以搜索用于所述后向反射器11在丢失了视线它们。在所检测的所述后向反射器11，该干涉仪1保持轨道的所述反射镜11再次与恢复测量。版权 : (C)2010，inpit |
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