| MEMS振动加速度计 |
| KR1020110099723 2011-9-30 发明申请 |
| 2013-4-9 |
| 目的 : 一种MEMS谐振式加速度计被提供到在结构上，以引起的热膨胀引起的偏移误差值通过一个温度变化通过提供一种谐振式加速度计具有一detf(双端音叉)中的结构，其温度灵敏度被最小化。构成 : 第一和第二的惯性质量块(10，20)具有一个方形框架的形状和被在一个从一个衬底的距离在以便被移动。一个第一的惯性质量是通过一个第一固定在所述衬底锚定部分(12a)和第二锚定部分(12b)和被连接到可移动的被连接到连接构件(14a，14b)具有弹性，第一和第二之间的锚部分。一个第二的惯性质量被固定在所述相同的方式与第一中所述基板惯性质量(10)通过一第三锚定部(22a)和第四锚定部分(22b)和被连接到可移动的被连接到连接构件(24a，24b)具有弹性，第三和第四之间的锚定部分。一个弹性主体(30)是第一的惯性质量和第二之间放置惯性质量，使第一及第二惯性质量块与每个其它被连接在平行的移动，和所施加的偏移力与外力除了加速度。一调谐叉(40)被连接到所述弹性体，测量频率变化由于向加速度施加到一个MEMS谐振式加速度计，和所述弹性体被连接到所述的内侧通过穿透所述开口部(31)的所述弹性主体。[参考标号](aa)加速度施加方向; 版权 kipo 2013 |
微信公众号