| 跟踪式激光干涉仪 |
| US12707255 2010-2-17 发明申请 |
| 2010-8-19 |
| 一种跟踪型激光干涉仪，其中图案发射控制单元控制改变机构，使得当由第一判断单元判断第一和第二光接收单元处的接收光量中的至少一个不大于第一阈值时，沿着预定图案发射光。 当由第二判断单元判断在图案发射控制单元控制用于沿着图案发射光的改变机构的时间段期间第一和第二光接收单元处的接收光量都大于第二阈值时，跟踪控制单元使改变机构保持对追溯反射器的跟踪。 干涉仪沿着图案发射光，以在失去视觉时搜索回射器。 一旦检测到，干涉仪就可以再次跟踪反射器并恢复测量。 |
微信公众号