| 二维精密传输设备、三维精密传输设备和坐标测量机 |
| US13613706 2012-9-13 发明申请 |
| 2013-3-21 |
| 一种坐标测量机，包括三维精密传递设备和测量物体的测量设备。 所述三维精密传送设备包括可移动体、第一至第三驱动体、第一至第三驱动机构和第一至第三激光干涉仪，所述第一至第三驱动机构驱动所述第一至第三驱动体在相互正交的第一方向、第二方向和竖直方向上前后移动，所述第一至第三激光干涉仪检测所述可移动体的位移。 第一至第三驱动体包括在第一至第三驱动体和可移动体之间形成静压间隙的第一至第三接头。 第一至第三激光干涉仪的激光路径以分别穿透第一至第三驱动体和第一至第三接头的方式延伸。 |
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