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光电编码器的光栅尺

CN200910137722.0 2009-4-27 发明申请

2009-10-28

本发明提供光电编码器的光栅尺，该光栅尺有效地保护其基底不腐蚀、锈蚀和破裂。该光栅尺具有：基底(10)；吸光层(12)，包括至少形成在基底(10)的表面的区域上的DLC层；以及反光层(14)，对落入波长范围的光具有比吸光层(12)更高的反射率，并且在吸光层(12) 上形成为光栅。