| 干涉式机构到所述位置测量和坐标测量机 |
| DE102008002968 2008-7-25 发明申请 |
| 2010-2-4 |
| 一个用于位置测量的干涉测量装置元件可移动的一个平面中被公开。一激光光源测量所述可移动元件和发射所述的位置所需要的测量光。一个分光器将所测量的光成第一部分光束路径和一个第二的部分光束路径; 其中每个所述可移动元件的一反射表面上撞击通过一个干涉仪。在本文中，至少所述分束器，其将所测量的光成第一部分光束路径和一个第二部分光束路径，和所述分束器，其中将第三的部分光束路径到标准具，通过一个干涉仪，具有一相应光束阱与它们相关联的，其陷阱所述的光返回从所述各自的干涉仪。 |
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