| 一种应用于台式扫描电镜真空腔室中的加热装置 |
| CN202220071235.X 2022-1-12 实用新型 |
| 2022-5-27 |
| 本实用新型涉及一种应用于台式扫描电镜真空腔室中的加热装置，所属扫描电子显微镜原位加热测试技术领域，包括陶瓷底座，所述的陶瓷底座上方设有加热核心组件，所述的加热核心组件上端设有与加热核心组件相卡嵌的工件样品，所述的加热核心组件外围设有与加热核心组件相套接的刚性陶瓷隔热。具有结构简单、重量轻、温度稳定性好、隔热效果好和加热效率高的特点。解决了无水冷环境下实现加热装置正常运行而不影响扫描电子显微镜工作的问题。 |
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