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接触式探针
EP12191264 2012-11-5 发明授权
2018-10-24
本实用新型具有仿形模块(60)包括传感器(100)由弹性元件保持在静止位置相对一种固定元件。所述触针可从静止位置响应于偏转力。一种位移检测系统检测的探头,包括光源(68)例如发光二极管(LED)。如电荷耦合器件图像传感器的光传感器(61),接收所述光源发出的光,其中在光强度的空间分布图像传感器根据变化的位移传感器。
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