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产业专利数据

具有彩色共焦高度传感器和显微镜的沟槽测量系统

DE102006050834 2006-10-27 发明授权

2022-5-25

用于在微米和亚微米表面(8)中的选定位置进行高度测量的装置，一种彩色共焦高度传感器和一种光学显微镜，它们具有一个共同的光束路径和一个共同的物镜(7)，以同时研究在不同光波长的表面(8)上的基本相同的位置。