| 一种聚焦离子束扫描电子显微镜可旋转低温样品台 |
| CN202111636752.3 2021-12-29 发明申请 |
| 2022-5-24 |
| 本发明公开了一种聚焦离子束扫描电子显微镜可旋转低温样品台，包括样品台本体和样品载台组件，所述样品台本体上设有燕尾槽，所述样品载台组件包括燕尾槽接头，所述燕尾槽与燕尾槽接头配合，实现样品台本体和样品载台组件的紧密贴合。本发明通过样品台冷却通道的优化设计以及滚动与滑动摩擦相结合的传动方案，可在实现360度旋转的同时大大提高冷却效率；另一方面，通过独特的传动机构设计可以实现样品台在保持自身体积不变的前提下，一次装载四个样品，比现有产品效率提升一倍；再者，通过引入加热元件辅助温控系统的精细调节，可以提供一种控温精确的低温样品台解决方法。 |
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