| bridgetype共-坐标测量机 |
| EP99107602 1999-4-16 发明申请 |
| 1999-11-17 |
| 该装置具有一个桥(2)生成上面所述测量表(6)和支撑在两个导向件(7，8)在所述该测量表的两侧。该导向装置位于支撑柱上，其具有一低膨胀的热系数和被包含在一个热绝缘单元(11)。该装置具有支撑柱，其中所述桥上的导向件(7，8)被附着。该导向装置被设置在所述侧面(11，12)的所述支撑体的单元。所述桥跨越所述测量的上方支撑(6)是移动沿所述导向件和被安置在一空气轴承(10)上的一个导向(7)。所述相反侧上是一夹持器(33)与三个空气轴承(9a-C)在所述其它导向(8)。所述支撑柱与所述支撑体通过一个连接器连接，其连接所述支撑柱在所述垂直方向可移动到所述支撑体(11，12)和在水平方向的非可移动到所述支撑体。由于使用所述支撑柱是可倾斜的支撑柱轴承。 |
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