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产业专利数据

坐标测量机中的迟滞补偿

US12163368 2008-6-27 发明申请

2009-12-31

坐标测量机补偿由桥的非驱动端的摩擦引起的迟滞误差。桥可以具有单个驱动器和/或单个刻度。所述方法、系统和设备补偿由桥的旋转引起的x方向上的误差和/或y方向上的误差。一些实施例补偿由垂直可移动RAM引起的x方向上的迟滞误差。