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一个坐标测量机中的磁滞补偿
WOUS09003790 2009-6-25 发明申请
2009-12-30
一个坐标测量机由摩擦引起的滞后误差补偿所述非驱动端处的所述桥。该桥可以具有一个单驱动和\/或一单个刻度。所述的方法,系统,和设备中用于误差补偿所述X-方向和\/或引起错误在所述Y-方向通过该桥的旋转。一些实施例补偿磁滞引起的误差在所述X-方向通过一个可垂直移动的RAM。
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