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声发射检测基板，声发射检测装置和扫描探针显微镜
JP2020188023 2020-11-11 发明申请
2022-5-23
“挑战”我们提供了一种能够提高AE检测灵敏度的AE检测基片，AE检测装置和扫描探针显微镜。 溶液： 能够检测样品中产生的声发射(AE)的声发射检测衬底18， 衬底21， 形成为包围放置在衬底上的样品的压电膜22， 以及多个输出电极，分别设置成包围压电膜上的样品， 压电膜将试样中产生的AE变换为AE信号作为电信号，从多个输出电极输出AE信号。 “选择图” 1
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