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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

一基板上的坐标测量机，用于测量结构

DE102007036814 2007-8-3 发明申请

2009-2-12

一个坐标测量机(1)用于测量结构(3)在一衬底(2)包括一测量表(20)中的可动所述X-坐标方向和在该Y-坐标方向，一个测量目标(9)，至少一个激光干涉仪(24)用于确定所述测量的所述位置表(20)和所测量的物镜(9)其中，所述测量表(20)，所述测量物镜(9)和所述至少一个激光干涉仪(24)被设置在一真空室(50)。