| 坐标测量机 |
| EP10160745 2010-4-22 发明申请 |
| 2010-10-27 |
| 一个坐标测量机(1)具有一个坐标测量机本体(2)和一个控制器(3)。该坐标测量机本体(2)具有一个探针(4)具有一个测量件和一驱动机构(5)。用于驱动所述探头(4)。所述探头(4)具有一驱动单元(43)用于驱动所述测量件。所述控制器(3)包括一个第一测量单元(321)和第二测量单元(322)。第一测量单元(321)测量所测量的位移件通过驱动该驱动单元(43)。第二测量单元(322)测量位移的所述探头(4)。所述的测量精度第二测量单元(322)所述的测量精度是低于第一测量单元(321)。 |
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