| 用于提高扫描探针显微镜的扫描速度的控制方法和系统 |
| IN202221008486 2022-2-17 发明申请 |
| 2022-5-20 |
| 用于提高扫描探针显微镜的扫描速度的控制方法和系统本文公开的实施例涉及扫描探针显微镜，更具体地涉及提高扫描探针显微镜的扫描速度。 一种具有悬臂和尖端的扫描探针显微镜，当样品的悬臂以其共振频率振动时，以分接模式测量样品的表面形貌。 脉冲控制器检测样品表面形貌的变化，并在估计脉冲控制器信号的电压之后发射脉冲控制器信号。 除了输入驱动信号之外，脉冲控制器信号被引导到连接到悬臂的致动器，并且使悬臂能够在其稳态下快速地振动。 根据样品表面形貌中的升压转变或降压转变来调节脉冲控制器的电压。 图2 |
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